发明公开
- 专利标题: 一种晶体管的评估方法
- 专利标题(英): Method for evaluating transistor
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申请号: CN201510424012.1申请日: 2015-07-17
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公开(公告)号: CN105047578A公开(公告)日: 2015-11-11
- 发明人: 何永 , 冯骏 , 王者伟
- 申请人: 北京兆易创新科技股份有限公司
- 申请人地址: 北京市海淀区学院路30号科大天工大厦A座12层
- 专利权人: 北京兆易创新科技股份有限公司
- 当前专利权人: 兆易创新科技集团股份有限公司
- 当前专利权人地址: 北京市海淀区学院路30号科大天工大厦A座12层
- 代理机构: 北京品源专利代理有限公司
- 代理商 胡彬; 邓猛烈
- 主分类号: H01L21/66
- IPC分类号: H01L21/66
摘要:
本发明公开了一种晶体管的评估方法,该评估方法包括:将周期为T的第一脉冲信号施加在所述晶体管的第一端;在经过至少n个周期之后,对所述晶体管进行电性能测试,以获得第一参数,其中,n为大于或等于1的正整数;根据对所述晶体管初始参数和所述第一参数进行比较,以评估所述晶体管的可靠性。本发明能够快速的评估晶体管的可靠性,缩短工艺开发周期,实现在量产过程中对每个晶体管晶圆进行可靠性监控。
公开/授权文献
- CN105047578B 一种晶体管的评估方法 公开/授权日:2018-05-11
IPC分类: