一种晶体管的评估方法
摘要:
本发明公开了一种晶体管的评估方法,该评估方法包括:将周期为T的第一脉冲信号施加在所述晶体管的第一端;在经过至少n个周期之后,对所述晶体管进行电性能测试,以获得第一参数,其中,n为大于或等于1的正整数;根据对所述晶体管初始参数和所述第一参数进行比较,以评估所述晶体管的可靠性。本发明能够快速的评估晶体管的可靠性,缩短工艺开发周期,实现在量产过程中对每个晶体管晶圆进行可靠性监控。
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