Invention Publication
- Patent Title: 晶圆级芯片TSV封装结构及其封装方法
- Patent Title (English): Wafer-level chip TSV packaging structure and packaging method thereof
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Application No.: CN201510305840.3Application Date: 2015-06-05
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Publication No.: CN105047628APublication Date: 2015-11-11
- Inventor: 蒋舟 , 李扬渊
- Applicant: 苏州迈瑞微电子有限公司
- Applicant Address: 江苏省苏州市工业园区仁爱路166号亲民楼230室
- Assignee: 苏州迈瑞微电子有限公司
- Current Assignee: 苏州迈瑞微电子有限公司
- Current Assignee Address: 江苏省苏州市工业园区仁爱路166号亲民楼230室
- Agency: 苏州威世朋知识产权代理事务所
- Agent 杨林洁
- Main IPC: H01L23/48
- IPC: H01L23/48 ; H01L21/768

Abstract:
本发明公开了一种晶圆级芯片TSV封装结构及其封装方法,该封装结构包括若干阵列排布的芯片单元,芯片单元上设有若干TSV结构,相邻的芯片单元之间形成有若干切割道,所述芯片单元包括相对的第一表面和第二表面,第一表面的四周设有若干与TSV结构相连的焊窗开口,同一个芯片单元内焊窗开口的分布有且仅有一条对称轴,相邻芯片单元上的焊窗开口沿位于相邻芯片单元之间的切割道对称分布。本发明中相邻芯片单元上的焊窗开口沿切割道对称分布,在切割时相邻芯片单元上所受到的表面应力相同,能够避免受力不均而导致的芯片碎裂,提高了封装效率和芯片的良品率。
Public/Granted literature
- CN105047628B 晶圆级芯片TSV封装结构及其封装方法 Public/Granted day:2017-08-22
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