- 专利标题: 通过功率MOSFET的分裂栅极中的贯穿多晶硅接头实现分裂多晶硅连接
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申请号: CN201510155606.7申请日: 2015-04-02
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公开(公告)号: CN105047697B公开(公告)日: 2019-03-15
- 发明人: 李亦衡 , 雷燮光 , 金钟五 , 常虹 , 马督儿·博德 , 管灵鹏 , 哈姆扎·耶尔马兹
- 申请人: 万国半导体股份有限公司
- 申请人地址: 美国加利福尼亚州94085,桑尼维尔,奥克米德大道475号
- 专利权人: 万国半导体股份有限公司
- 当前专利权人: 万国半导体国际有限合伙公司
- 当前专利权人地址: 美国加利福尼亚州94085,桑尼维尔,奥克米德大道475号
- 代理机构: 上海申新律师事务所
- 代理商 吴俊
- 优先权: 14/260,215 2014.04.23 US
- 主分类号: H01L29/40
- IPC分类号: H01L29/40 ; H01L21/28 ; H01L21/336
摘要:
一种通过功率MOSFET的分裂栅极中的贯穿多晶硅接头实现分裂多晶硅连接。本发明提出了一种在分裂栅极沟槽晶体管器件中的接触结构,用于连接沟槽内的顶部电极和底部电极。包括一个半导体衬底以及形成在半导体衬底中的一个或多个沟槽。沿沟槽内部侧壁,沟槽内衬绝缘材料。在每个沟槽底部都有一个底部电极,在每个沟槽顶部都有一个顶部电极。底部电极和顶部电极通过绝缘材料分隔开。用导电材料填充的接触结构形成在器件有源区以外的区域中的每个沟槽中,以便连接顶部电极和底部电极。
公开/授权文献
- CN105047697A 通过功率MOSFET的分裂栅极中的贯穿多晶硅接头实现分裂多晶硅连接 公开/授权日:2015-11-11
IPC分类: