一种大型光伏电站光伏组件精细化清洗装置及方法。该装置包括水箱，水箱的出水口与第一输水管道相连，第一输水管道伸至光伏组件串所在区域上方，第一输水管道引接有冲洗用水管；光伏组件串下方设有回水槽，回水槽与废水回收池相连，废水回收池通过过滤器与水箱相连；光伏组件串上的电压变送器和电流变送器均与控制器电连接，控制器还与环境监测仪电连接；可控电磁阀亦与控制器电连接。本发明还包括使用大型光伏电站光伏组件精细化清洗装置对光伏组件进行清洗的方法。使用本发明便于光伏组件清洗除尘的实现，清洗效率高，缩短清洗时间，节约用水，有利于保护环境，同时，为后期运行维护人员减轻工作量，提高光伏电站运行可靠性。