一种二维振动辅助激光扫描在位检测系统及其检测方法
摘要:
本发明公开一种二维振动辅助激光扫描在位检测系统,包括随动导轨和X轴导轨,以及与该随动导轨匹配连接的随动导轨连接件;还包括Y轴音圈电机、激光位移传感器、X轴音圈电机和X轴运动平台;随动导轨平行于X轴导轨,可沿该X轴导轨方向来回滑动,而所述随动导轨连接件在X轴方向上保持不动。随动导轨的存在使得与随动导轨连接件相连接的Y轴音圈电机在激光位移传感器拉动随动导轨沿X轴导轨运动时能够保持不动,从而Y轴音圈电机的质量不会成为激光位移传感器在X轴方向运动的阻力,因而不用增大X轴音圈电机的功率和体积。本发明实现了在位检测,在保证精度的同时具有较好的检测效率,抗干扰性好,可以应用于不同场合和用于不同目标的检测。
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