一种制备具有表面有序微结构的VO2纳米薄膜的方法
摘要:
一种制备具有表面有序微结构的VO2纳米薄膜的方法,它涉及一种制备表面有序微结构的VO2热致相变薄膜的方法。首先利用膜层转移法在石英基板上沉积一层SiO2二维光子晶体,随后利用溶胶-凝胶法在SiO2二维光子晶体缝隙中填充VO2,然后利用氢氟酸浸泡薄膜表面,除去SiO2,干燥后即可得到具有表面有序微结构的VO2热致相变薄膜。本发明制备的表面有序微结构的VO2热致相变薄膜。能有效的增强VO2薄膜的透光性能,的非常适合于推进VO2热致相变智能窗的应用。本发明工艺简单,成本低廉,能耗少,无污染,适合于工业化生产。
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