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发明公开
CN105092118A 一种具有高灵敏度的柔性压阻式压力传感器及其制备方法 有权

  • 专利标题： 一种具有高灵敏度的柔性压阻式压力传感器及其制备方法
  • 专利标题（英）： Flexible piezoresistive pressure sensor with high sensitivity, and preparing method thereof
  • 申请号： CN201510624235.2
    申请日： 2015-09-25
  • 公开(公告)号： CN105092118A
    公开(公告)日： 2015-11-25
  • 发明人: 聂萌 , 章丹 , 黄庆安
  • 申请人： 东南大学
  • 申请人地址： 江苏省南京市江宁区东南大学路2号
  • 专利权人： 东南大学
  • 当前专利权人： 东南大学
  • 当前专利权人地址： 江苏省南京市江宁区东南大学路2号
  • 代理机构： 南京瑞弘专利商标事务所
  • 代理商 杨晓玲
  • 主分类号： G01L1/18
  • IPC分类号： G01L1/18
一种具有高灵敏度的柔性压阻式压力传感器及其制备方法
摘要：
本发明公开了一种具有高灵敏度的柔性压阻式压力传感器，该压力传感器包括柔性衬底、金属电极、网格状的石墨烯薄膜层；金属电极固定连接在柔性衬底顶面的两端，石墨烯薄膜层覆盖并连接在柔性衬底和部分金属电极上。该压力传感器不仅具有衬底可弯曲变形的优点，还具有很高的灵敏度，能够广泛使用于生物医学和可穿戴设备等领域。同时还公开了该柔性压阻式压力传感器的制备方法。
摘要（英）：

The invention discloses a flexible piezoresistive pressure sensor with high sensitivity. The pressure sensor comprises the components of a flexible substrate, metal electrodes and a grid-shaped graphene film layer. The metal electrodes are fixedly connected with two ends of the top surface of the flexible substrate. The graphene film layer covers and is connected with the flexible substrate and partial metal electrodes. The pressure sensor has an advantage that the substrate can perform bending deformation and furthermore has high sensitivity. The pressure sensor can be widely used in the fields of biomedicine, wearable device, etc. Furthermore the invention discloses a preparation method for the flexible piezoresistive pressure sensor.

公开/授权文献
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