- 专利标题: 一种显示面板的信号线的制程方法及显示面板
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申请号: CN201510615724.1申请日: 2015-09-23
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公开(公告)号: CN105093816B公开(公告)日: 2019-08-02
- 发明人: 王轩 , 何明录 , 邓思
- 申请人: 武汉华星光电技术有限公司
- 申请人地址: 湖北省武汉市东湖开发区高新大道666号生物城C5栋
- 专利权人: 武汉华星光电技术有限公司
- 当前专利权人: 武汉华星光电技术有限公司
- 当前专利权人地址: 湖北省武汉市东湖开发区高新大道666号生物城C5栋
- 代理机构: 深圳市威世博知识产权代理事务所
- 代理商 何青瓦
- 主分类号: G03F1/56
- IPC分类号: G03F1/56 ; G03F1/80 ; G03F1/76 ; G03F7/20
摘要:
本发明公开了一种显示面板的信号线的制程方法及显示面板,方法包括在显示面板上形成信号线的材料层;在材料层上形成光致抗蚀剂层;使用掩膜板对光致抗蚀剂层进行光罩处理,以使光致抗蚀剂层形成阶梯状图案,且阶梯状图案化的光致抗蚀剂层包括第一类型曝光区域和第二类型曝光区域,其中,第一类型曝光区域的高度不同于第二类型曝光区域的高度;将阶梯状图案化的光致抗蚀剂层第一类型曝光区域去除,而保留第二类型曝光区域;利用剩余的光致抗蚀剂层的第二类型曝光区域作为掩膜对材料层进行蚀刻,以在显示面板上得到图案化的材料层。通过上述方式,本发明能够得到较窄线宽的信号线。
公开/授权文献
- CN105093816A 一种显示面板的信号线的制程方法及显示面板 公开/授权日:2015-11-25