一种显示面板的信号线的制程方法及显示面板
摘要:
本发明公开了一种显示面板的信号线的制程方法及显示面板,方法包括在显示面板上形成信号线的材料层;在材料层上形成光致抗蚀剂层;使用掩膜板对光致抗蚀剂层进行光罩处理,以使光致抗蚀剂层形成阶梯状图案,且阶梯状图案化的光致抗蚀剂层包括第一类型曝光区域和第二类型曝光区域,其中,第一类型曝光区域的高度不同于第二类型曝光区域的高度;将阶梯状图案化的光致抗蚀剂层第一类型曝光区域去除,而保留第二类型曝光区域;利用剩余的光致抗蚀剂层的第二类型曝光区域作为掩膜对材料层进行蚀刻,以在显示面板上得到图案化的材料层。通过上述方式,本发明能够得到较窄线宽的信号线。
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