- 专利标题: 电荷补偿耐压结构垂直氮化镓基异质结场效应管
- 专利标题(英): GaN vertical heterojunction field-effect transistor with charge compensation voltage-resistant structure
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申请号: CN201510410936.6申请日: 2015-07-14
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公开(公告)号: CN105140302A公开(公告)日: 2015-12-09
- 发明人: 杜江锋 , 刘东 , 白智元 , 潘沛霖 , 于奇
- 申请人: 电子科技大学
- 申请人地址: 四川省成都市高新区(西区)西源大道2006号
- 专利权人: 电子科技大学
- 当前专利权人: 电子科技大学
- 当前专利权人地址: 四川省成都市高新区(西区)西源大道2006号
- 代理机构: 成都君合集专利代理事务所
- 代理商 廖曾
- 主分类号: H01L29/80
- IPC分类号: H01L29/80 ; H01L29/06
摘要:
本发明公开了电荷补偿耐压结构垂直氮化镓基异质结场效应管,该器件特别之处在于还包括位于势垒层、沟道层、电流阻挡层及n-GaN缓冲层外侧的电荷补偿绝缘层,并且在电荷补偿绝缘层与势垒层、沟道层、电流阻挡层及n-GaN缓冲层界面处存在高密度的固定电荷;电荷补偿绝缘层由绝缘电介质构成。由于电荷补偿绝缘层与n-GaN缓冲层界面处存在高密度的固定电荷,耐压时该界面负电荷可使得靠近的n-GaN缓冲层反型,形成的p+柱将消耗n-GaN缓冲层中的电子,使得缓冲层形成p+n超结结构并被完全耗尽,充分优化后缓冲层中的电场在垂直方向可保持3MV/cm基本不变,器件击穿电压达到GaN材料耐压极限。
公开/授权文献
- CN105140302B 电荷补偿耐压结构垂直氮化镓基异质结场效应管 公开/授权日:2018-06-15
IPC分类: