发明授权
- 专利标题： 液浸部件及曝光装置
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申请号： CN201380073365.0申请日： 2013-12-25
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公开(公告)号： CN105144342B公开(公告)日： 2018-12-04
- 发明人: 佐藤真路
- 申请人： 株式会社尼康
- 申请人地址： 日本东京都
- 专利权人： 株式会社尼康
- 当前专利权人： 株式会社尼康
- 当前专利权人地址： 日本东京都
- 代理机构： 北京市金杜律师事务所
- 代理商 陈伟
- 优先权： 61/746,497 2012.12.27 US
- 国际申请： PCT/JP2013/084758 2013.12.25
- 国际公布： WO2014/104139 JA 2014.07.03
- 进入国家日期： 2015-08-19
- 主分类号： H01L21/027
- IPC分类号： H01L21/027
摘要：
液浸部件在液浸曝光装置中使用，能够在与射出曝光用光的光学部件的射出面相对的物体的表面上形成液浸空间。液浸部件具有：第1部件，其包含配置在曝光用光的光路周围的第1部分，在第1部分上设有能够供曝光用光通过的第1开口部、及配置在第1开口部的周围的至少一部分上且能够与物体的表面相对的第1液体供给部；和第2部件，其具有能够与物体的表面相对的第1液体回收部，能够相对于光路在第1部分的外侧相对于第1部件移动。
公开/授权文献
- CN105144342A 液浸部件及曝光装置 公开/授权日：2015-12-09
IPC分类:
