湿式制程腔室及包含其的湿式制程装置
摘要:
本发明提供一种湿式制程腔室及包含其的湿式制程装置,所述湿式制程腔室是用于进行对被处理材的湿式制程的湿式制程腔室,包含:壳体,其具备以供所述被处理材通过的方式形成的一个以上的开口部;及阻断部,其以与所述开口部对应的方式配置,且具备以供所述被处理材通过的方式形成的狭缝;且所述阻断部具有大于所述开口部的尺寸,所述阻断部的狭缝具有小于所述开口部的宽度。由此,可容易地保持湿式制程腔室内部的洁净度而精密地控制湿式制程。
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