发明授权
- 专利标题： 米级大口径偏振片全频段面形加工方法
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申请号： CN201510407906.X申请日： 2015-07-13
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公开(公告)号： CN105182459B公开(公告)日： 2017-09-12
- 发明人: 魏朝阳 , 邵建达 , 徐学科 , 易葵 , 顾昊金 , 程鑫
- 申请人： 中国科学院上海光学精密机械研究所
- 申请人地址： 上海市嘉定区上海市800-211邮政信箱
- 专利权人： 中国科学院上海光学精密机械研究所
- 当前专利权人： 中国科学院上海光学精密机械研究所
- 当前专利权人地址： 上海市嘉定区上海市800-211邮政信箱
- 代理机构： 上海新天专利代理有限公司
- 代理商 张泽纯; 张宁展
- 主分类号： G02B5/30
- IPC分类号： G02B5/30 ; B24B1/00
摘要：
一种米级大口径偏振片全频段面形加工方法，本发明方法通过磁流变抛光与保形光顺抛光结合，可以有效的控制米级大口径偏振片的加工精度，制造出在高功率激光系统中全频段指标达标的米级大口径偏振片元件，透反两面具体指标如下：PV≤λ/3，GRMS≤7nm/cm，PSD1RMS≤1.8nm，PSD2RMS≤1.1nm，表面粗糙度≤1nm。
公开/授权文献
- CN105182459A 米级大口径偏振片全频段面形加工方法 公开/授权日：2015-12-23
