通过C离子注入降低CMOS图像传感器白像素的方法
摘要:
本发明公开了一种通过C离子注入降低CMOS图像传感器白像素的方法,针对传统CMOS图像传感器白像素较高的问题,通过采用离子注入工艺,在光电二极管周围的P+型隔离区中注入一定浓度的C离子,并通过高温退火工艺,促进P+型隔离区中C离子对氧气的聚集,以及氧聚集形成的氧沉淀对光电二极管中金属离子污染的吸附,从而可有效地降低CMOS图像传感器的白像素。
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