- 专利标题: 通过C离子注入降低CMOS图像传感器白像素的方法
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申请号: CN201510621209.4申请日: 2015-09-25
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公开(公告)号: CN105185699B公开(公告)日: 2018-03-23
- 发明人: 范晓 , 陈昊瑜 , 田志
- 申请人: 上海华力微电子有限公司
- 申请人地址: 上海市浦东新区张江高科技园区高斯路568号
- 专利权人: 上海华力微电子有限公司
- 当前专利权人: 上海华力微电子有限公司
- 当前专利权人地址: 上海市浦东新区张江高科技园区高斯路568号
- 代理机构: 上海天辰知识产权代理事务所
- 代理商 吴世华; 陈慧弘
- 主分类号: H01L21/266
- IPC分类号: H01L21/266 ; H01L21/8238 ; H01L27/146
摘要:
本发明公开了一种通过C离子注入降低CMOS图像传感器白像素的方法,针对传统CMOS图像传感器白像素较高的问题,通过采用离子注入工艺,在光电二极管周围的P+型隔离区中注入一定浓度的C离子,并通过高温退火工艺,促进P+型隔离区中C离子对氧气的聚集,以及氧聚集形成的氧沉淀对光电二极管中金属离子污染的吸附,从而可有效地降低CMOS图像传感器的白像素。
公开/授权文献
- CN105185699A 通过C离子注入降低CMOS图像传感器白像素的方法 公开/授权日:2015-12-23
IPC分类: