空气桥侧引的pHEMT微波功放管芯横向结构及pHEMT
摘要:
本发明公开了一种空气桥侧引的pHEMT微波功放管芯横向结构及pHEMT。该结构包括8栅指并联结构的5个共用的源极、8个栅极、4个共用的漏极,管芯右侧连通4个漏极的金属引线,管芯左侧连通8个栅极的金属引线,管芯左侧2个平行管芯排列的圆形接地通孔,以及从管芯左侧引出的连接2个接地通孔和5个源极的空气桥结构。本发明具有源极、栅极间和源极、漏极间的寄生电容小的特点,从而提高管芯在微波频段的工作性能,并且可大幅减小功率合成时多管芯并联的板图面积。
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