发明公开
CN105235086A 一种硅片切割机用喷水器
失效 - 权利终止
- 专利标题: 一种硅片切割机用喷水器
- 专利标题(英): Water sprayer for silicon wafer cutting machine
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申请号: CN201510640392.2申请日: 2015-09-30
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公开(公告)号: CN105235086A公开(公告)日: 2016-01-13
- 发明人: 陈小力 , 江辉
- 申请人: 浙江辉弘光电能源有限公司
- 申请人地址: 浙江省嘉兴市平湖市经济开发区新兴三路899号
- 专利权人: 浙江辉弘光电能源有限公司
- 当前专利权人: 浙江辉弘光能股份有限公司
- 当前专利权人地址: 浙江省嘉兴市平湖市经济开发区新兴三路899号
- 代理机构: 杭州华鼎知识产权代理事务所
- 代理商 胡根良
- 主分类号: B28D7/02
- IPC分类号: B28D7/02 ; B01D29/56 ; B01D35/02
摘要:
本发明涉及一种硅片切割机用喷水器,解决了现有技术中硅片切割机用喷水装置中的喷水管与导流架装配不方便的不足。本发明提供的一种硅片切割机用喷水器,喷水管固定在支撑板上,喷水管内设有过滤体,喷水管上还设置有过滤罩,由导流架进入切削现场的水都会经过两次过滤,优化了水的水质;另外,支撑板上设置有罩体,罩体配合导流架包围喷水管,喷水管在喷水过程中导流架、罩体均起到导向作用,以将喷水槽内喷出的水流引至切削现场,由于罩体的存在,喷水槽的喷水方向既可以朝向导流架,也可以朝向罩体,因此,喷水管与支撑板装配时不需要考虑喷水槽的喷水方向,喷水管与支撑板装配操作方便。
公开/授权文献
- CN105235086B 一种硅片切割机用喷水器 公开/授权日:2017-03-22