一种湿度传感器及制备方法
摘要:
本发明公开了一种湿度传感器及制备方法,通过在叉指电极的下方、侧面、上方均设有湿敏材料层,形成将叉指电极包嵌于湿敏材料中的结构,增加了湿敏材料的体积,可增加有效湿敏电容,减小寄生电容,从而提高湿度传感器的灵敏度,提升传感器性能。
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