发明授权
- 专利标题: 一种湿度传感器及制备方法
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申请号: CN201510621633.9申请日: 2015-09-25
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公开(公告)号: CN105241927B公开(公告)日: 2018-02-27
- 发明人: 李铭 , 左青云
- 申请人: 上海集成电路研发中心有限公司
- 申请人地址: 上海市浦东新区上海浦东张江高斯路497号
- 专利权人: 上海集成电路研发中心有限公司
- 当前专利权人: 上海集成电路研发中心有限公司
- 当前专利权人地址: 上海市浦东新区上海浦东张江高斯路497号
- 代理机构: 上海天辰知识产权代理事务所
- 代理商 吴世华; 尹英
- 主分类号: G01N27/22
- IPC分类号: G01N27/22
摘要:
本发明公开了一种湿度传感器及制备方法,通过在叉指电极的下方、侧面、上方均设有湿敏材料层,形成将叉指电极包嵌于湿敏材料中的结构,增加了湿敏材料的体积,可增加有效湿敏电容,减小寄生电容,从而提高湿度传感器的灵敏度,提升传感器性能。
公开/授权文献
- CN105241927A 一种湿度传感器及制备方法 公开/授权日:2016-01-13