投射光学系统及投影装置
摘要:
本发明提供了一种投射光学系统及投影装置。本发明提供一种从缩小侧的第1像面向放大侧的第2像面进行投射的投射光学系统(1),其具有:第1折射光学系统(11),其包含透镜(L1)~(L8)这8个透镜,利用从缩小侧入射的光在放大侧形成第1中间图像(31);第2折射光学系统(12),其包含透镜(L9)~(L14)这6个透镜,使缩小侧的第1中间图像(31)在放大侧成像为第2中间图像(32);以及第1反射光学系统(20),其包含位于比第2中间图像(32)靠放大侧的位置的正折射力的第1反射面(21a)。
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