一种低g值微机械加速度锁存开关
摘要:
本发明公开一种低g值微机械加速度锁存开关,包括一绝缘衬底,一检测质量块,多个相对于绝缘衬底X轴和Y轴均对称分布的锚点、触头、触头支撑梁、检测质量块支撑梁及过载保护结构。本发明所述微机械开关的动触头采用半球形与楔形复合结构,与侧触头形成线接触,降低运动过程中的能量损失,与感应触头形成面接触,减小接触电阻,提高接触的可靠性;检测质量块、扰性梁、触头以及锚点呈完全轴对称分布,可实现±Y方向的双向锁存;检测质量块支撑梁对称分布于检测质量块的两侧,结构布局更合理,易于实现低g值锁存,且通过调整检测质量块、扰性梁以及各触头之间的间隙,可方便调整闭锁阈值,阈值范围更广。
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