发明授权
CN105264110B 成膜装置
失效 - 权利终止
- 专利标题: 成膜装置
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申请号: CN201480031318.4申请日: 2014-05-08
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公开(公告)号: CN105264110B公开(公告)日: 2017-07-14
- 发明人: 濑川利规 , 大庭尚树 , 黑川好德
- 申请人: 株式会社神户制钢所
- 申请人地址: 日本兵库县神户市
- 专利权人: 株式会社神户制钢所
- 当前专利权人: 株式会社神户制钢所
- 当前专利权人地址: 日本兵库县神户市
- 代理机构: 中国专利代理(香港)有限公司
- 代理商 陈国慧; 李婷
- 优先权: 2013-115045 20130531 JP
- 国际申请: PCT/JP2014/062363 2014.05.08
- 国际公布: WO2014/192514 JA 2014.12.04
- 进入国家日期: 2015-11-30
- 主分类号: C23C14/56
- IPC分类号: C23C14/56 ; C23C16/54
摘要:
提供一种能够不将成膜单元及其上游侧和下游侧单元上下重叠而确保作业空间的成膜装置。成膜装置包括成膜单元(16)、和配置在其左右的上游侧及下游侧单元(14、18)。成膜单元(16)具有:成膜辊(70);多个引导辊(72);主腔室(64),具有成膜辊收纳部(74)及其上侧的引导辊收纳部(76);第1加工腔室和第2加工腔室(66、68),在成膜辊收纳部(74)的左右收纳多个成膜加工用设备(84、86);和加工腔室支承部(104),将加工腔室(66、68)支承为,该加工腔室(66、68)能够在成膜用的通常位置与向左右退避的退避位置之间移动,并且能够在该退避位置与在前后方向上离开的露出位置之间移动。
公开/授权文献
- CN105264110A 成膜装置 公开/授权日:2016-01-20