晶片制造方法以及晶片制造装置
摘要:
本发明的目的在于提供一种能够减轻锯丝的挠曲的影响而制造高品质的晶片的晶片制造方法以及晶片制造装置。本发明所涉及的晶片制造方法的特征在于,在晶锭内通过激光形成多个凹坑,沿着所述多个凹坑通过锯丝切断所述晶锭而进行晶片化,另外,本发明所涉及的晶片制造装置的特征在于,是实施如下的晶片制造方法的装置,所述晶片制造方法在晶锭内通过激光形成多个凹坑,沿着所述多个凹坑通过锯丝切断所述晶锭而进行晶片化。
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