本发明涉及一种用于滤光片真空蒸镀设备的水冷装置，在安装固定板上穿接有旋转轴，旋转轴的一端与电机驱动连接，另一端与水冷盘的底端相固定；水冷盘的内腔中通过隔板分隔为上腔层和下腔层，上腔层与下腔层相通布置；旋转轴的内腔中插接有出水管，出水管的一端伸入至水冷盘的上腔层内，与上腔层相连通设置，另一端连通至出水管出水口，旋转轴上套装有进水管，进水管的一端与水冷盘下腔层相连通，另一端连通至进水管进水口。本发明通过在旋转轴内安装出水管，并在旋转轴外套装有进水管，出水管的一端与上腔层相连通，而进水管的一端与下腔层相连通，有效缓解对电极棒长时间的工作而产生的高温，增加长其使用时间，从而提高工作效率。