一种具有超高硬度的纳米结构涂层及其制备方法
摘要:
本发明提供了一种具有超高硬度的纳米结构涂层,由至少一个TiSiN层和至少一个CrAlN层构成,所述的TiSiN层和CrAlN层交替沉积在基体上。本发明还提供了上述具有超高硬度的纳米结构涂层的制备方法,首先将经抛光处理后的基体送入超声波清洗机,在无水酒精和丙酮中超声清洗;然后进行离子清洗;离子清洗后将基体置入多靶磁控溅射仪并交替停留在TiSi复合靶和CrAl靶之前,通过溅射获得由TiSiN层和CrAlN层交替叠加的纳米尺度涂层。本发明的具有超高的硬度和优良力学性能和抗高温氧化性能,该涂层可作为高速切削刀具及其它高温条件下服役耐磨工件的保护涂层。
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