本发明提供一种真空弧离子源飞行时间质谱仪。在一个高真空腔室内，设置了真空弧离子源、离子门、三圆筒聚焦透镜、法拉第杯等设备。在离子源阳极与阴极之间加一个高压脉冲，真空弧放电，产生等离子体。在引出高压的作用下，脉冲离子束被引出。离子门开启，不同质荷比m/q的离子通过离子门并进入距离为L无场漂移区飞行一段时间，通过三圆筒聚焦透镜聚焦后，离子到达法拉第杯检测器。不同质荷比m/q的离子到达法拉第杯检测器的飞行时间tf  不同，因此，在示波器上显示出不同离子的飞行时间谱峰，横坐标上时间代表离子质荷比m/q，谱峰的峰值则代表离子数。因此可以得到含氘金属电极中离子成分。