发明公开
CN105304503A 蚀刻工艺中减少的钛底切
无效 - 撤回
- 专利标题: 蚀刻工艺中减少的钛底切
- 专利标题(英): REDUCED TITANIUM UNDERCUT IN ETCH PROCESS
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申请号: CN201510291027.5申请日: 2015-05-29
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公开(公告)号: CN105304503A公开(公告)日: 2016-02-03
- 发明人: 大卫·P·苏尔杜克 , 马文·L·伯恩特
- 申请人: 应用材料公司
- 申请人地址: 美国加利福尼亚州
- 专利权人: 应用材料公司
- 当前专利权人: 应用材料公司
- 当前专利权人地址: 美国加利福尼亚州
- 代理机构: 北京律诚同业知识产权代理有限公司
- 代理商 徐金国; 赵静
- 优先权: 62/004,751 2014.05.29 US
- 主分类号: H01L21/48
- IPC分类号: H01L21/48 ; H01L23/498
摘要:
根据本公开内容的一个实施方式,一种形成金属特征的方法包括:使用第一蚀刻化学品蚀刻第一金属层的一部分,和使用第二蚀刻化学品蚀刻阻挡层的一部分以实现阻挡层底切,所述底切小于或等于阻挡层厚度的两倍。
IPC分类: