蚀刻工艺中减少的钛底切
摘要:
根据本公开内容的一个实施方式,一种形成金属特征的方法包括:使用第一蚀刻化学品蚀刻第一金属层的一部分,和使用第二蚀刻化学品蚀刻阻挡层的一部分以实现阻挡层底切,所述底切小于或等于阻挡层厚度的两倍。
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