本发明公开了一种硅异质结太阳能电池及其制作方法，用以提高硅异质结太阳能电池的光电转换效率。硅异质结太阳能电池的制作方法包括：对硅片进行去损伤层、制绒和清洗；将完成上述步骤的硅片进行硫化处理；在完成上述步骤的硅片的上表面制作第一非晶硅本征层和第一非晶硅掺杂层，在该硅片的下表面制作第二非晶硅本征层和第二非晶硅掺杂层；在第一非晶硅本征层和第一非晶硅掺杂层的表面上依次制作第一透明导电氧化物膜层和第一电极，在第二非晶硅本征层和第二非晶硅掺杂层的表面上依次制作第二透明导电氧化物膜层和第二电极。