光学位移传感器元件
摘要:
本发明涉及光学位移传感器,其包括第一至少部分反射表面和具有衍射图案的第二表面,所述表面被提供在元件上,所述元件在它们之间具有可变的距离,每个表面对限定在它们之间的腔。传感器还包括将至少一个选定波长范围的光传输到所述腔中的至少一个光源和从腔接收光的至少一个光检测器,其中,所述衍射图案适于将光引导朝向在相对于所述衍射表面的已知位置中提供的至少一个检测器。
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