Invention Grant
- Patent Title: 一种应用共轭差分法检测柱面镜绝对面形的方法
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Application No.: CN201410244608.9Application Date: 2014-06-04
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Publication No.: CN105318843BPublication Date: 2017-12-12
- Inventor: 马骏 , 孙玮苑 , 朱日宏 , 高志山
- Applicant: 南京理工大学
- Applicant Address: 江苏省南京市玄武区孝陵卫200号
- Assignee: 南京理工大学
- Current Assignee: 南京理工大学
- Current Assignee Address: 江苏省南京市玄武区孝陵卫200号
- Agency: 南京理工大学专利中心
- Agent 朱显国
- Main IPC: G01B11/24
- IPC: G01B11/24
Abstract:
本发明公开了一种应用共轭差分法对柱面镜面形进行绝对检测的方法，该方法运用共轭差分法实现了对柱面面形的绝对检测。运用本发明中的装置可对待测柱面实现在沿母线方向及绕中心轴方向上的共轭运动，从而测得这两个方向上的差分量，通过波面复原算法即可恢复出待测波面。本发明能消除传统差分法测量面形中存在的零点误差，提高测量精度。
Public/Granted literature
- CN105318843A 一种应用共轭差分法检测柱面镜绝对面形的方法 Public/Granted day:2016-02-10
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