重叠图案投影仪
摘要:
本申请涉及重叠图案投影仪。一种光电器件,包括:半导体衬底,以二维图案在衬底上排列的光学发射器阵列,投影透镜以及衍射光学元件。所述投影透镜安装在半导体衬底上并且配置以收集并聚焦由光学发射器发出的光,以便投影包含与衬底上的光学发射器的二维图案相对应的光图案的光束。所述衍射光学元件安装在衬底上并且配置以产生并投影图案的多个重叠复本。
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