发明授权
- 专利标题: 保管容器
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申请号: CN201480035882.3申请日: 2014-06-05
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公开(公告)号: CN105324715B公开(公告)日: 2019-12-10
- 发明人: 雁部政彦
- 申请人: 村田机械株式会社
- 申请人地址: 日本京都府
- 专利权人: 村田机械株式会社
- 当前专利权人: 村田机械株式会社
- 当前专利权人地址: 日本京都府
- 代理机构: 北京集佳知识产权代理有限公司
- 代理商 舒艳君; 田军锋
- 优先权: 2013-139795 2013.07.03 JP
- 国际申请: PCT/JP2014/064980 2014.06.05
- 国际公布: WO2015/001906 JA 2015.01.08
- 进入国家日期: 2015-12-23
- 主分类号: G03F1/66
- IPC分类号: G03F1/66 ; B65D85/86 ; H01L21/027 ; H01L21/673
摘要:
本发明提供实现吹扫气体的流速的均匀化的保管容器。保管容器(1)由具有收纳物品的收纳区域(S)的保管部(5)多层设置而成,具备供给吹扫气体的供给部(10)、遍及多个保管部(5)连通地设置而成为作为被从供给部供给的吹扫气体的流路的管道部(22)、以及将管道部(22)与收纳区域(S)连通并将吹扫气体导入收纳区域(S)的导入部(24),在管道部(22)的吹扫气体的流路配置有扩散部件(32)。
公开/授权文献
- CN105324715A 保管容器 公开/授权日:2016-02-10