基于聚焦透镜轴向色差的双光束并行刻写装置
摘要:
一种基于聚焦透镜轴向色差的双光束并行刻写装置,包括第一激光器、第二激光器、第一1/2波片、第二1/2波片、第一扩束镜、第二扩束镜、第一分光镜、第二分光镜、第一反射镜、第二反射镜、第三反射镜、聚焦透镜、三棱镜,第一探测器和第二探测器,本发明将两束不同波长的光耦合到同一束光中,通过聚焦透镜产生轴向色差,聚焦于轴向不同位置,即光刻材料不同厚度处,实现轴向双焦点同时光刻。本发明可实现双光束同时存储,将存储的速度增加一倍,也将存储信息提高一倍,为多层光存储技术的推广运用提供基础。本发明还具有实时读取刻写信号系统,确保刻写的准确度。
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