发明授权
- 专利标题： 改进的金属蒸气给料器
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申请号： CN201480037424.3申请日： 2014-07-02
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公开(公告)号： CN105359248B公开(公告)日： 2017-07-07
- 发明人: 迭戈·迪詹彼得罗 , 安东尼奥·博努奇 , 詹尼·圣泰拉
- 申请人： 工程吸气公司
- 申请人地址： 意大利米兰
- 专利权人： 工程吸气公司
- 当前专利权人： 工程吸气公司
- 当前专利权人地址： 意大利米兰
- 代理机构： 北京集佳知识产权代理有限公司
- 代理商 蔡胜有; 苏虹
- 国际申请： PCT/IB2014/062788 2014.07.02
- 国际公布： WO2015/004574 EN 2015.01.15
- 进入国家日期： 2015-12-29
- 主分类号： H01J9/12
- IPC分类号： H01J9/12 ; C23C14/00 ; H01J9/395
摘要：
本发明涉及加热的金属蒸气给料器，具体涉及碱金属蒸气给料器，所述金属蒸气给料器包括包含金属释放材料的丝状元件和固定在丝状元件的端部的两个端子。根据本发明的金属蒸气给料器的特征是对所释放金属蒸气的速率和再现性的改进的控制。
公开/授权文献
- CN105359248A 改进的金属蒸气给料器 公开/授权日：2016-02-24
