发明公开
CN105369206A 一种制备柔性衬底薄膜的磁控溅射装置
无效 - 撤回
- 专利标题: 一种制备柔性衬底薄膜的磁控溅射装置
- 专利标题(英): Magnetron sputtering device for preparing flexible liner membrane
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申请号: CN201510876661.5申请日: 2015-12-03
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公开(公告)号: CN105369206A公开(公告)日: 2016-03-02
- 发明人: 彭寿 , 姚婷婷 , 金克武 , 张宽翔 , 杨勇 , 蒋继文 , 曹欣 , 徐根保
- 申请人: 凯盛光伏材料有限公司 , 中国建筑材料科学研究总院 , 蚌埠玻璃工业设计研究院
- 申请人地址: 安徽省蚌埠市禹会区涂山路1047号
- 专利权人: 凯盛光伏材料有限公司,中国建筑材料科学研究总院,蚌埠玻璃工业设计研究院
- 当前专利权人: 凯盛光伏材料有限公司,中国建筑材料科学研究总院,蚌埠玻璃工业设计研究院
- 当前专利权人地址: 安徽省蚌埠市禹会区涂山路1047号
- 代理机构: 安徽省蚌埠博源专利商标事务所
- 代理商 杨晋弘
- 主分类号: C23C14/35
- IPC分类号: C23C14/35
摘要:
本发明公开一种制备柔性衬底薄膜的磁控溅射装置,包括基片与靶材,所述靶材包括上靶材与下靶材,两个靶材上下相对设置;上靶材的上部与下靶材的下部设有在两个靶材之间形成磁场的磁体,磁场方向与靶材垂直;所述基片垂直设置于两个靶材的外侧;溅射过程中,二次电子飞出靶面后,被靶材阴极的电场加速,电子受磁场束缚向阳极运动,并被有效的封闭在两个靶极之间作洛仑兹运动,形成柱状等离子体,电子能量耗尽后,最终沉积在基片上;由于该电子的能量很低,基片温升较低并且使得薄膜有效避免了离子损伤,同时,薄膜是由靶材离子散射和热分解沉积得到,因此薄膜在室温中沉积,避免柔性衬底在传统磁控溅射过程中烧糊,变形等损坏,保证薄膜质量。
IPC分类: