一种制备柔性衬底薄膜的磁控溅射装置
摘要:
本发明公开一种制备柔性衬底薄膜的磁控溅射装置,包括基片与靶材,所述靶材包括上靶材与下靶材,两个靶材上下相对设置;上靶材的上部与下靶材的下部设有在两个靶材之间形成磁场的磁体,磁场方向与靶材垂直;所述基片垂直设置于两个靶材的外侧;溅射过程中,二次电子飞出靶面后,被靶材阴极的电场加速,电子受磁场束缚向阳极运动,并被有效的封闭在两个靶极之间作洛仑兹运动,形成柱状等离子体,电子能量耗尽后,最终沉积在基片上;由于该电子的能量很低,基片温升较低并且使得薄膜有效避免了离子损伤,同时,薄膜是由靶材离子散射和热分解沉积得到,因此薄膜在室温中沉积,避免柔性衬底在传统磁控溅射过程中烧糊,变形等损坏,保证薄膜质量。
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