本发明涉及到太阳能电池技术领域，公开了一种真空翻转装置及翻转方法，用以提高太阳能电池用硅片的加工效率，避免硅片翻转过程中的污染，提高太阳能电池的生产效率和质量。其中真空翻转装置包括：真空翻转腔室；用于传送硅片的传送臂；用于将传送臂传送的硅片拾取并带动硅片翻转的翻转单元；位于翻转单元下方、用于将传送臂上的硅片升起以便翻转单元拾取硅片的升降单元。上述真空翻转装置，在使用时，传送臂将硅片送入真空翻转腔室；升降单元将传送臂上的硅片升起以便翻转单元拾取硅片；翻转单元拾取硅片并带动硅片翻转。