发明授权
- 专利标题： 用于涂覆基板的装置和方法
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申请号： CN201480029673.8申请日： 2014-04-01
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公开(公告)号： CN105377452B公开(公告)日： 2018-09-25
- 发明人: C.迈尔
- 申请人： EV , 集团 , E·索尔纳有限责任公司
- 申请人地址： 奥地利圣弗洛里安
- 专利权人： EV,集团,E·索尔纳有限责任公司
- 当前专利权人： EV,集团,E·索尔纳有限责任公司
- 当前专利权人地址： 奥地利圣弗洛里安
- 代理机构： 中国专利代理(香港)有限公司
- 代理商 陈浩然; 宣力伟
- 优先权： 102013105320.3 2013.05.23 DE
- 国际申请： PCT/EP2014/056539 2014.04.01
- 国际公布： WO2014/187600 DE 2014.11.27
- 进入国家日期： 2015-11-23
- 主分类号： B05D3/04
- IPC分类号： B05D3/04 ; B05D1/02 ; H01L21/67
摘要：
本发明涉及一种用于利用具有至少一种涂覆成分和至少一种溶剂的涂覆材料涂覆基板(9)的表面(9o)的装置，该装置具有以下特征：腔室(7)，其可加压；保持设备(8)，其用于将基板(9)保持在保持表面(12)上；以及喷射喷嘴(11)，其用于涂覆基板(9)，其特征在于，该装置具有冷却器件，其用于冷却至少基板(9)的表面(9o)，基板(9)保持在保持设备(8)的保持表面(12)上。本发明还涉及对应的方法。
公开/授权文献
- CN105377452A 用于涂覆基板的装置和方法 公开/授权日：2016-03-02
