本发明公开了基于机器视觉的原料硅片表面划痕检测方法，属于机器视觉缺陷检测技术领域，采用了图像位置矫正技术、灰度图像分割技术、线性滤波技术、边缘检测技术、数据统计与分析技术、图像处理技术以及形态学分析等对采集的图像进行处理和分析；对图像进行滤波处理、初步提取出表面划痕信息，经二值化处理后进一步凸显出划痕位置及大小，最后经形态学分析与粒子过滤的方法筛选出主要划痕。本发明可对原料硅片表面划痕实现在线稳定准确的存在性与方向性的判断，且实时显示检测结果；并可以通过数据采集模块向控制传送带的PLC控制器发出信号，使其对应不同的类别快速控制传送带采取不同的动作。