- 专利标题: 膜形成用组合物及其膜、以及使用其的有机半导体元件的制造方法
- 专利标题(英): Film-forming composition, film formed thereby, and method for manufacturing organic semiconductor element using same
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申请号: CN201480041085.6申请日: 2014-07-14
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公开(公告)号: CN105393341A公开(公告)日: 2016-03-09
- 发明人: 照井贵阳 , 小森谷治彦 , 小林史人 , 原由香里 , 原育成
- 申请人: 中央硝子株式会社
- 申请人地址: 日本山口县
- 专利权人: 中央硝子株式会社
- 当前专利权人: 中央硝子株式会社
- 当前专利权人地址: 日本山口县
- 代理机构: 北京林达刘知识产权代理事务所
- 代理商 刘新宇; 李茂家
- 优先权: 2013-150002 2013.07.19 JP; 2014-142189 2014.07.10 JP
- 国际申请: PCT/JP2014/068663 2014.07.14
- 国际公布: WO2015/008720 JA 2015.01.22
- 进入国家日期: 2016-01-19
- 主分类号: H01L21/47
- IPC分类号: H01L21/47 ; C08K5/02 ; C08K5/06 ; C08L27/12 ; H01L21/027 ; H01L21/308 ; H01L21/336 ; H01L29/786 ; H01L51/05 ; H01L51/40 ; H01L51/50 ; H01L21/312
摘要:
本发明的膜形成用组合物包含:含有通式(1)表示的重复单元的氟树脂、以及氟系溶剂。(R1各自独立地为氢原子、氟原子、甲基或三氟甲基。R2各自独立地为碳数1~15的直链状、碳数3~15的支链状或碳数3~15的环状的含氟烃基,烃基中的氢原子可以被氟原子取代,重复单元中包含至少1个氟原子。)该组合物能够在有机半导体膜上形成膜,在光刻法等中得到有机半导体的精致的图案时,对蚀刻溶剂具有耐性,在有机半导体元件的制造方法中是有用的。
公开/授权文献
- CN105393341B 膜形成用组合物及其膜、以及使用其的有机半导体元件的制造方法 公开/授权日:2018-03-16