基于PSD反馈的二维快速控制反射镜及其控制系统
摘要:
本发明公开了一种基于PSD反馈的二维快速控制反射镜及其控制系统,所述二维快速控制反射镜包括:底座,固定于所述底座上的PSD反馈光路结构、带压电陶瓷的活动支撑结构、及不带压电陶瓷的固定支撑结构,与活动支撑结构和固定支撑结构相连的支架,以及固定于支架上的反射镜。本发明集成了基于位置敏感探测器PSD的反馈光路结构,提高了反射镜角度偏转精度;三角形支撑结构既保证了二个维度上均可偏转的同时大幅提高了结构空间利用率,使整个反射镜的结构更紧凑合理。
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