- 专利标题: 基于PSD反馈的二维快速控制反射镜及其控制系统
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申请号: CN201510979812.X申请日: 2015-12-23
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公开(公告)号: CN105403999B公开(公告)日: 2018-08-31
- 发明人: 罗栋 , 陈四海 , 陈巍 , 梁增基 , 苏凯斌 , 张骁 , 徐越
- 申请人: 深圳先进技术研究院
- 申请人地址: 广东省深圳市南山区西丽大学城学苑大道1068号
- 专利权人: 深圳先进技术研究院
- 当前专利权人: 深圳先进技术研究院
- 当前专利权人地址: 广东省深圳市南山区西丽大学城学苑大道1068号
- 代理机构: 深圳市铭粤知识产权代理有限公司
- 代理商 孙伟峰; 侯艺
- 主分类号: G02B26/08
- IPC分类号: G02B26/08
摘要:
本发明公开了一种基于PSD反馈的二维快速控制反射镜及其控制系统,所述二维快速控制反射镜包括:底座,固定于所述底座上的PSD反馈光路结构、带压电陶瓷的活动支撑结构、及不带压电陶瓷的固定支撑结构,与活动支撑结构和固定支撑结构相连的支架,以及固定于支架上的反射镜。本发明集成了基于位置敏感探测器PSD的反馈光路结构,提高了反射镜角度偏转精度;三角形支撑结构既保证了二个维度上均可偏转的同时大幅提高了结构空间利用率,使整个反射镜的结构更紧凑合理。
公开/授权文献
- CN105403999A 基于PSD反馈的二维快速控制反射镜及其控制系统 公开/授权日:2016-03-16