一种圆偏振光分束器及其制作方法
摘要:
本发明涉及一种圆偏振光分束器及其制作方法,包括基板和螺旋线栅,螺旋线栅的数量为多组,多组螺旋线栅均垂直的设于基板上且成阵列分布,每组螺旋线栅包括8根单螺旋线栅,8根单螺旋线栅旋向相同且设于同一直线上,且8根单螺旋线栅的初始旋转角依次增大22.5度,每组螺旋线栅中的第一根单螺旋线栅的初始旋转角为0度。当圆偏振光从螺旋线栅阵列的一侧垂直入射,两束光从分束器的另一侧透射,一束透射光按原方向传输,另一束与其存在一个分光角,该结构的圆偏振光分束器允许通过的圆偏振光的波长可达到0.6‑0.86μm,圆偏振光的透过率可达86%,分光比可达1:0.0029,分光角可达24.7度。
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