涂布器、涂布装置和涂布方法
摘要:
涂布器、涂布装置和涂布方法。提供一种涂布器,能够迅速地将积存在涂布器内的气泡排出到外部。本发明的涂布器具有:第1供给口(31),其供给涂布液;第1歧管(11),其与第1供给口(31)连接;喷出缝(22),其喷出涂布液;第2歧管(12),其与喷出缝(22)连接;以及连结节流流路(21),其连结第1歧管(11)和第2歧管(12),第1歧管(11)连接有将积存在第1歧管(11)内的气泡排出到外部的第1排出口(41),第2歧管(12)连接有供给涂布液的第2供给口(32)和将积存在第2歧管(12)内的气泡排出到外部的第2排出口(42)。
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