一种双通道超导连接及其制备方法
摘要:
本发明提供一种双通道超导连接及其制备方法,包括:于衬底上依次制备第一超导材料层、第一绝缘材料层、第二超导材料层;刻蚀第二超导材料层和第一绝缘材料层,露出第一超导材料层;刻蚀第一、第二超导材料层,形成双通道超导连接和约瑟夫森结;于第一绝缘材料层和衬底上形成第二绝缘材料层;形成旁路电阻;沉积第三超导材料层,并形成配线。双通道超导连接包括:并联的第一、第二通道,第一通道包括依次层叠的衬底、底电极、绝缘材料层及对电极;所述第二通道为衬底上的纯超导通道。本发明通过改进超导电路版图,在制备层间超导通道时,并联一个纯的超导连接通道,克服了以往的连接通道的约瑟夫森效应,提高了超导电路器件的性能及其稳定性。
公开/授权文献
0/0