一种大尺寸衍射光栅的制作方法及曝光装置
摘要:
一种大尺寸衍射光栅的制作方法及曝光装置,采用小尺寸光栅拼接而成,曝光装置包括两级缩微模块和消零级位相光栅,第一级缩微模块为4F成像系统,第二级缩微模块为双远心缩微投影干涉成像系统,该第二级缩微模块具有比第一级缩微模块更大的缩微倍数,且该第一缩微模块的成像面构成该第二级缩微模块的输入面,该第二缩微模块的输出面构成曝光成像时的记录面,其中第一级缩微模块包括第一傅立叶变化透镜或透镜组与第二傅立叶变化透镜或透镜组,所述消零级位相光栅位于该第一傅立叶变化透镜或透镜组与第二傅立叶变化透镜或透镜组之间,当曝光光斑中的条纹位置需要调整时,将该消零级位相光栅沿着垂直于栅线方向进行平移,实现光斑中条纹位置改变。
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