Invention Grant
- Patent Title: 横向双扩散场效应管及其形成方法
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Application No.: CN201410260908.6Application Date: 2014-06-12
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Publication No.: CN105448979BPublication Date: 2018-07-10
- Inventor: 郑大燮 , 曹国豪
- Applicant: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
- Applicant Address: 上海市浦东新区张江路18号
- Assignee: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
- Current Assignee: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
- Current Assignee Address: 上海市浦东新区张江路18号
- Agency: 北京集佳知识产权代理有限公司
- Agent 应战; 骆苏华
- Main IPC: H01L29/78
- IPC: H01L29/78 ; H01L21/336 ; H01L29/06
Abstract:
一种横向双扩散场效应管及其形成方法,横向双扩散场效应管包括:半导体衬底,半导体衬底中掺杂有第一导电类型的杂质离子;位于半导体衬底内的第一浅沟槽隔离结构;位于半导体衬底内的漂移区,漂移区包围第一浅沟槽隔离结构,所述漂移区中掺杂有第二导电类型的杂质离子,第二导电类型与第一导电类型相反;位于所述漂移区内的反型掺杂区,反型掺杂区的深度小于漂移区的深度,反型掺杂区中掺杂有第一导电类型的杂质离子;位于漂移区一侧的半导体衬底内的体区,体区中掺杂有第一导电类型的杂质离子;位于半导体衬底上形成栅极结构,栅极结构的一端延伸至体区的上方,另一端延伸至第一浅沟槽隔离结构上方。横向双扩散场效应管的栅漏寄生电容减小。
Public/Granted literature
- CN105448979A 横向双扩散场效应管及其形成方法 Public/Granted day:2016-03-30
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IPC分类: