涂敷装置及涂敷装置的控制方法
摘要:
提供形成始端及末端的形状错乱小的带状涂敷膜的涂敷装置。涂敷装置包括供给涂敷液的供给部、和涂敷部(3),涂敷部(3)使从供给部所供给的涂敷液相对于基材以规定的宽度涂敷,涂敷部(3)具有:供给口(4),供给涂敷液;第1缓冲室(5),将从供给口(4)流入的涂敷液在宽度方向上分配;阻力通道(6),相对于从第1缓冲室(5)流入的涂敷液施加比第1缓冲室(5)中的流体阻力大的流体阻力;第2缓冲室(7),将从阻力通道(6)流入的涂敷液在宽度方向上分配;开闭阀(8),设置在第2缓冲室(7)内部而控制从第2缓冲室(7)的上游向下游的连通和阻断;以及,狭缝喷嘴(10),将经过开闭阀(8)而从第2缓冲室(7)流入的涂敷液相对于基材以规定的宽度吐出。
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