温湿度传感器
摘要:
本发明的温湿度传感器(1)具备:基板(2);设置在基板(2)的第1电极(4);至少一部分沿着第1电极(4)而设的线状的第2电极(6);和设置在第2电极(6)中的沿着第1电极(4)的部分与第1电极(4)间的湿敏膜(8)。第2电极(6)为了形成电感器而具有俯视观察下为螺旋状的形状的部分。由此能构成高精度的振荡电路,能提供小型、制造容易的温度/湿度传感器。
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