发明授权
- 专利标题: 温湿度传感器
-
申请号: CN201480044709.X申请日: 2014-08-06
-
公开(公告)号: CN105452853B公开(公告)日: 2018-01-30
- 发明人: 藤本克己 , 白木宏 , 山本启辅
- 申请人: 株式会社村田制作所
- 申请人地址: 日本京都府
- 专利权人: 株式会社村田制作所
- 当前专利权人: 株式会社村田制作所
- 当前专利权人地址: 日本京都府
- 代理机构: 中科专利商标代理有限责任公司
- 代理商 薛凯
- 优先权: 2013-168039 2013.08.13 JP
- 国际申请: PCT/JP2014/070702 2014.08.06
- 国际公布: WO2015/022891 JA 2015.02.19
- 进入国家日期: 2016-02-05
- 主分类号: G01N27/02
- IPC分类号: G01N27/02 ; G01N27/22
摘要:
本发明的温湿度传感器(1)具备:基板(2);设置在基板(2)的第1电极(4);至少一部分沿着第1电极(4)而设的线状的第2电极(6);和设置在第2电极(6)中的沿着第1电极(4)的部分与第1电极(4)间的湿敏膜(8)。第2电极(6)为了形成电感器而具有俯视观察下为螺旋状的形状的部分。由此能构成高精度的振荡电路,能提供小型、制造容易的温度/湿度传感器。
公开/授权文献
- CN105452853A 温湿度传感器 公开/授权日:2016-03-30