- 专利标题: 微电极电路检查用针制造方法及以该方法制造的微电极电路检查用针
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申请号: CN201480044941.3申请日: 2014-07-07
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公开(公告)号: CN105452878B公开(公告)日: 2019-01-04
- 发明人: 丘璜燮 , 李圭汉 , 全柄俊 , 方镐燮 , 郑熙锡 , 金铉济
- 申请人: 宇德曼斯有限公司
- 申请人地址: 韩国京畿道
- 专利权人: 宇德曼斯有限公司
- 当前专利权人: 宇德曼斯有限公司
- 当前专利权人地址: 韩国京畿道
- 代理机构: 北京银龙知识产权代理有限公司
- 代理商 张敬强; 严星铁
- 优先权: 10-2013-0095887 2013.08.13 KR
- 国际申请: PCT/KR2014/006079 2014.07.07
- 国际公布: WO2015/023062 KO 2015.02.19
- 进入国家日期: 2016-02-06
- 主分类号: G01R1/067
- IPC分类号: G01R1/067
摘要:
本发明公开一种微电极电路检查用针。本发明实施例的微电极电路检查用针包括:针,其在两端中的至少一者上形成有接触部,具有弹性复原力的弹性部连接所述两端之间;及外壳,其形成有使所述接触部露出于外部的贯通部,且覆盖所述弹性部;所述针与所述外壳通过半导体MEMS工序而同时形成,所述针及所述外壳的下部与上部中的至少一个面平坦地形成。
公开/授权文献
- CN105452878A 微电极电路检查用针制造方法及以该方法制造的微电极电路检查用针 公开/授权日:2016-03-30