发明授权
摘要:
本发明公开了一种小范围激光平动扫描镜装置,包括外壳壳体、X轴平移台、Y轴平移台、Z轴平移台和聚焦镜,Z轴平移台上下移动安装在外壳壳体上,X、Y、Z轴平移台成串联连接,X轴平移台前后移动安装在Z轴平移台上,Y轴平移台左右移动安装在X轴平移台上,X、Y、Z轴平移台上分别固定安装有X、Y、Z反射镜,X、Y、Z反射镜分别与X、Y、Z轴呈45度角,X反射镜与Z反射镜相对设置且位于同一水平线上,Y反射镜与X反射镜相对设置且位于同一水平线上,聚焦镜水平安装在Y轴平移台上,聚焦镜位于Y反射镜的正下方。该装置能够避免出现枕形畸变以及离焦误差,聚焦斑点大小稳定,控制方便,能够实现小范围的激光精准扫描。
公开/授权文献
- CN105467583A 小范围激光平动扫描镜装置 公开/授权日:2016-04-06