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发明授权
CN105483620B 喷嘴部件、蒸镀装置及制作有机发光二极管器件的方法 有权

喷嘴部件、蒸镀装置及制作有机发光二极管器件的方法
摘要：
本发明涉及有机发光二极管显示技术领域，提供了喷嘴部件、蒸镀装置及制作有机发光二极管器件的方法。本发明通过在与喷嘴间隔开的中空腔中设置有加热件，当蒸镀有机材料时，加热件可以加热升温，使喷嘴的周壁温度上升到基本保持与蒸镀腔中一致或略高于蒸镀腔，从而喷嘴中的温度保持在一个合适的范围之内，既不过低使有机材料凝结在喷嘴中，又不过高使有机材料碳化。同时由于有机材料不凝结在喷嘴中，不需要将蒸镀装置停工来清理喷嘴，提高了设备稼动率。由于有机材料不再凝结在喷嘴处或被高温碳化，因此蒸镀形成的有机材料层厚度符合设计需要，材料不会劣化，提高了有机发光二极管器件的性能。
摘要（英）：

A nozzle assembly, an evaporation plating apparatus, and a method of manufacturing an organic light emitting diode device is provided. A first heating element is arranged in the hollow cavity in the sidewall of the nozzle. When organic material is vapor deposited, the first heating element can perform heating to raise the temperature of the peripheral wall of the nozzle to be substantially the same as or slightly higher than the temperature of the evaporation plating chamber, thereby maintaining the temperature in the nozzle within a suitable range so that it is neither too low to cause the organic material to condense in the nozzle nor too high to carbonize the organic material.

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