发明公开
- 专利标题: 一种真空规管
- 专利标题(英): Vacuum gauge
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申请号: CN201610022654.3申请日: 2016-01-14
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公开(公告)号: CN105489465A公开(公告)日: 2016-04-13
- 发明人: 陈旗
- 申请人: 成都国光电气股份有限公司
- 申请人地址: 四川省成都市经济技术开发区(龙泉驿区)星光西路117号
- 专利权人: 成都国光电气股份有限公司
- 当前专利权人: 成都国光电气股份有限公司
- 当前专利权人地址: 四川省成都市经济技术开发区(龙泉驿区)星光西路117号
- 代理机构: 成都华风专利事务所
- 代理商 徐丰
- 主分类号: H01J41/02
- IPC分类号: H01J41/02 ; H01J41/06
摘要:
本发明公开了一种真空规管,所述真空规管包括电阻规管、冷阴极电离规管、置于真空规管外侧的永磁组件、用以连接真空测量设备与真空规管的高压插座,所述真空规管还包括法兰组件、阳极组件;所述法兰组件包括刀口法兰和焊接于刀口法兰上的管体,所述管体设有安装电阻规管和阳极组件的腔室;所述阳极组件包括压板、已金属化的陶瓷件和焊接于陶瓷组件上的阳极杆,所述压板上设有用以焊接陶瓷组件的焊接槽和用以安装电阻规管、陶瓷组件的腔室;采用所述真空规管其测量范围可以达到105Pa-10-7Pa,拓展了冷阴极电离规管的测量上限。
公开/授权文献
- CN105489465B 一种真空规管 公开/授权日:2017-07-04