一种真空规管
摘要:
本发明公开了一种真空规管,所述真空规管包括电阻规管、冷阴极电离规管、置于真空规管外侧的永磁组件、用以连接真空测量设备与真空规管的高压插座,所述真空规管还包括法兰组件、阳极组件;所述法兰组件包括刀口法兰和焊接于刀口法兰上的管体,所述管体设有安装电阻规管和阳极组件的腔室;所述阳极组件包括压板、已金属化的陶瓷件和焊接于陶瓷组件上的阳极杆,所述压板上设有用以焊接陶瓷组件的焊接槽和用以安装电阻规管、陶瓷组件的腔室;采用所述真空规管其测量范围可以达到105Pa-10-7Pa,拓展了冷阴极电离规管的测量上限。
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