制造装置、供给单元及碳纳米管的制造方法
摘要:
本发明提供一种制造装置、供给单元及碳纳米管的制造方法。本发明提供一种制造装置作为提高通过气相催化法所制造的碳纳米管的生产性的手段,所述制造装置通过气相催化法来制造碳纳米管,并且所述制造装置具备:第一腔室,具有作为形成碳纳米管的区域的成长区域;第一调温装置,可调整第一腔室内的成长区域的温度;调压装置,可调整第一腔室内的压力;第一供给装置,可对第一腔室内的成长区域供给碳源;第二调温装置,可调整配置在制造装置内的固相的含铁族元素材料的温度;以及第二供给装置,可对制造装置内供给含卤素物质,以使经第二调温装置调整为既定温度的含铁族元素材料可与气相的含卤素物质反应。
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