一种石墨加热炉内石墨热场表面制备SiC涂层的方法
摘要:
本发明公开了一种石墨加热炉内石墨热场表面制备SiC涂层的方法,包括(1)将炉内气压抽至1~10‑2Pa,然后将石墨加热炉内温度提升至100~150℃;(2)维持炉内气压不变,将溶度为30‑50%硅溶胶溶液从炉内顶部吸入真空炉内,溶液吸入的流量为100~1000ml/min,时间为1~5min;(3)在100‑150℃保温1h后将石墨加热炉内温度提升至200‑400℃,升温速率为3~6℃每分钟,保温1~2小时;(4)将石墨加热炉内温度升高至1450~1600℃,升温速率为4~8℃每分钟,保温2~6小时,停止保温,冷却后,加热炉内碳素材料表面具有碳化硅涂层。本发明工艺过程相对简单,易操作,重复性好,直接在碳素材料表面原位反应生成结合力强的涂层。
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